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硅溶膠催化劑載體、數(shù)碼印刷CMP拋光液|
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一、應(yīng)用領(lǐng)域
1．拋光：用于制備CMP拋光液，用于硅單晶片、砷化鎵片、藍(lán)寶石晶片、半導(dǎo)體化合物晶片、硬盤盤片、寶石、液晶玻璃、鏡頭、金屬表面等產(chǎn)品的拋光。
2．催化劑載體、數(shù)碼印刷等。
二、性能指標(biāo)
指標(biāo)名稱 型號及標(biāo)準(zhǔn)
LS30 LS60 LS80 LS100 LS140
粒徑（nm） 20-40 60-80 80-100 100-120 140-160
SiO2含量(重量) 30-40% 30-50%
Na2O含量(重量) ≤0.4%
分散介質(zhì) 水
pH值 2-11可調(diào)
分散狀態(tài) 單分散
膠粒形態(tài) 球型
保質(zhì)期（月） ≥12
三、產(chǎn)品特點(diǎn)
1．粒徑分布窄（±10nm），球形膠粒，結(jié)構(gòu)致密。
2．純度高，金屬離子含量低。
3．可根據(jù)用戶要求設(shè)定粒徑大小、濃度、PH值、離子含量等指標(biāo)。
四、用于拋光的使用方法
建議用去離子水將濃度稀釋至10-20%，也可根據(jù)實際工藝要求改變配比。若要調(diào)節(jié)pH值，可用10% HCI，10%NaOH，10%KOH或10%的氨水在充分?jǐn)嚢柘侣稳搿?br />
五、包裝及儲存
1．采用聚乙烯塑料桶包裝，主要包裝規(guī)格有25Kg、250Kg。
2．貯存時應(yīng)避免曝曬，貯存溫度為0-40℃。低于0℃則產(chǎn)生凍膠失效。
3．避免敞口長期與空氣接觸。
注：我公司可以免費(fèi)提供樣品試用。 |
| 趙主管
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